Helium Sızıntı Detektörü için Paslanmaz Çelik Pirani Vakumölçeri

Pirani Vakum Ölçer Tanıtımı

Pirani vakum ölçer, helyum kütle spektrometresi kaçak dedektörünün vakum sisteminde, orta ila düşük vakum aralığında (özellikle kaba pompalama aşamasında) basıncı ölçmek için kullanılan önemli bir sensördür. Temel algılama elemanı tipik olarak tungsten veya nikel gibi metallerden yapılırken, genel gövde paslanmaz çelikten imal edilmiştir.

Pirani Vakum Ölçerin İşlevi

Pirani vakum ölçer, helyum kütle spektrometresi kaçak dedektörlerinde "proses monitörü" ve "sistem koruyucu" rollerini oynar ve aşağıdaki özel işlevlere sahiptir:
Kaba Pompalama (Ön Hat) Vakum Basıncının İzlenmesi:
Kaçak dedektörü çalıştırıldığında, mekanik pompa önce vakum sistemini atmosfer basıncından nispeten düşük bir basınca (tipik olarak 10 Pa ila 0,1 Pa mertebesinde) tahliye etmelidir. Pirani ölçer, bu aşamadaki basınç değişikliklerini gerçek zamanlı olarak izler ve bunları cihaz arayüzünde görüntüler.
Yüksek Vakum Vanası Açılması İçin Kilitleme Sinyali Sağlama (Temel Koruyucu İşlev):
Kaçak dedektörünün temel kütle spektrometresi odası yalnızca yüksek vakum koşullarında (tipik olarak 0,1 Pa'nın altında) çalışabilir. Ön hat basıncı yeterince düşük olmadan yüksek vakum vanası (mekanik pompayı difüzyon pompasına/türbomoleküler pompaya bağlayan) açılırsa, yüksek vakum pompasında ciddi hasara neden olabilir ve tüm sistemi kirletebilir.
Pirani ölçer, cihazın kontrol sistemiyle kilitlenir. Kontrol sistemi, yüksek vakum vanasının açılmasına ve türbomoleküler pompanın çalışmasına yalnızca Pirani ölçer, ön hat basıncının önceden belirlenmiş bir güvenlik eşiğinin altında olduğunu algıladığında izin verir. Bu, pahalı yüksek vakum pompasını ve kütle spektrometresini korumak için kritik bir güvenlik önlemidir.
Sistem Durumu ve Kaçak Konumu Teşhisine Yardımcı Olma:
Pompalama sırasındaki basınç düşüş hızını ve elde edilebilen son kararlı basıncı gözlemleyerek, sistemde büyük bir kaçak olup olmadığını (basınç sürekli düşmüyor) veya önemli iç gaz çıkışı olup olmadığını (basınç yavaş düşüyor) önceden belirlemek mümkündür.
Kaçak testi sırasında, helyum püskürtmek yalnızca bir kütle spektrometresi sinyal yanıtını tetiklemekle kalmayıp aynı zamanda Pirani ölçer okumasında belirgin bir artışa neden olursa, bu genellikle nispeten büyük bir kaçağın varlığını gösterir.