Wafer Sızıntı tespiti için kuru pompa helium sızıntı dedektörü SFJ-231D
| Communication Interface: | RS232/485, LAN | Leak rate display: | Numbers, Bar Charts, Graphs |
| User Interface: | 7inch Color Touch Screen | Product Name: | Helium Leak Detector |
| Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Vaccum Mode: | 5*10-13 Pa.m3/s | Response Time(s): | <1s |
| MES Interface: | Standard | Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Sniffer Mode: | 2.5*10-9 Pa.m3/s |
| High Light: | Ultra Duyarlı Helium Sızıntı Detektörü,Hissetme Modu Helium Sızıntı Detektörü,Grafikler Helium Sızıntı Detektörü gösterir |
||
Wafer Sızıntı tespiti için kuru pompa helium sızıntı dedektörü SFJ-231D
Helium Sızıntı Detektörü SFJ-231D'nin Teknik Parametreleri
| Ürün Adı | Helium sızıntı dedektörü SFJ-231D |
| En az tespit edilebilir sızıntı hızı ((Pa·m3/s) / vakum modu | 5.0*10-13Pa·m3/s |
| En az tespit edilebilir sızıntı hızı ((Pa·m3/s) / koklama modu | 5.0*10-9Pa·m3/s |
| En yüksek izin verilen sızıntı tespit basıncı (Pa) | 1500 |
| Yanıt süresi | < 1s |
| Başlama saati | ≤2 dakikalık |
| Bulunabilir kalite | 2, 3,4 ((H2,He3, He4) |
| İnsan-makine arayüzü | 7 inç renkli LCD dokunmatik ekran |
| İyon kaynağı | 2 adet, irid ile kaplanmış itrium oksit, otomatik anahtar |
| I/O Giriş/çıkış arayüzü | 8 giriş ve 8 çıkış |
| İletişim arayüzü | RS232/485, USB*2 |
| MES arayüzü | Standart |
| Sızıntı tespit portu | DN25KF |
| Güç kaynağı | AC220V, 50Hz/60Hz |
| Çalışma sıcaklığı | 0~40°C |
| Dil | İngilizce |
| Sızıntı oranı göstergesi | Şekil, çubuk grafiği, eğri grafiği |
| Boyut | 645*678*965mm |
SFJ-231D Helium Sızıntı Detektörü'nün uygulanmasıWafer için.
Helium kütle spektrometri sızıntı tespit teknolojisinde, kuru pompaların (yağı olmayan kuru vakum pompaları) uygulanması esas olarak denetlenen ekipmanın çalışma koşullarına bağlıdır.Temizlik gereksinimleri ve helyum kütle spektrometri sızıntı dedektörlerinin teknik gereksinimleri (e).g. Wayeal SFJ-231D).
Bulma yöntemi: Vakum püskürtme helium yöntemi (yüksek duyarlılık modu)
1Sistem tahliye ve temel kalibrasyon
Temel basınçta boşaltmak: Çizme odası: ≤0.1Pa (kuru pompa + moleküler pompa kombinasyonu); CVD/PVD odası: ≤10−3 Pa (katlama ekipmanlarına daha yüksek gereksinimler).
Sızıntı dedektörü kalibrasyonu: SFJ-231D'yi kalibre etmek ve enstrüman yanıtının doğrusallığını doğrulamak için standart bir sızıntı referansı (örneğin, 1×10−7 Pa·m3/s) kullanın.
Adım 2: Helium püskürtmesi tespiti
Bulma alanı: O-ring olukları, vida delikleri, VCR/VCO metal mühürleri, kaynak eklemleri, seramik yalıtımlar, bakır dikişler, Bellows bağlantıları.
Helium püskürtme işlemi:
Algılama noktasından 3-5 mm uzaklıkta el taşıyan bir helyum püskürtme tabancası (0,1 mm ince ayarlama nozlu) kullanın. 5 cm/s hızla hareket edin, noktaya 2-3 saniye durun (SFJ-231D yanıt süresi <1 saniye).Helium basıncını 0'a ayarlayın..2-0.3MPa, hava akışının bozulmasını önlemek için.
Adım 3: Sızıntı noktasının belirlenmesi ve kaydedilmesi
Sızıntı oranı: Yarım iletken ekipmanlarının izin verilen sızıntı hızı: Tipik olarak ≤1×10−9 Pa·m3/s (SEMI standartlarına göre).
Veri kaydı: SFJ-231D sızıntı oranının zirvesini gösterdiğinde, sızıntı noktasını bir işaret kalemle işaretleyin.
Sızıntı oranı eğreleri ve konum verilerini kaydet (USB üzerinden ihraç).
Adım 4: Tekrar denetim ve doğrulama
Tekrarlanabilirliği doğrulamak için tespit edilen sızıntılara ikinci bir helyum püskürtmesi yapın.
Büyük sızıntıları tamir ettikten sonra, yeniden basınç basınçına geri çekil ve tam bir yeniden denetim yap.
Mini Sızıntı Algılama Hızı 5*10-13Pa.m3/s Helium Sızıntı Algılayıcısı 7 Inç Dokunmatik Ekranla
SFJ-16C Helium Sızıntı Detektörü'nün Teknik Özellikleri Ürün Adı Helium Sızıntı Detektörü SFJ-16C Boyut 755*467*1180mm Çalışma sıcaklığı 0~40°C Fark edilebilir Kalite 2, 3, 4 (H2, He3, He4) Kullanıcı Arayüzü 7 inç renkli dokunmatik ekran Bulma yöntemi Helium Sızıntısı tespiti Mini Sızıntı Bulma Hızı ...
24V Modüler Vakum Helium Kütle Spektrometre Sızıntı Detektörü
Modüler Sızıntı Detektörü Vakum Helium Sızıntı Denetleyicisi Detektörü Helium Sızıntı Detektörü'nün Tanıtımı Modüler helyum kütle spektrometre sızıntı dedektörü, modüler yapı tasarımını, küçük boyutu, hafif ağırlığı, kolay sistem entegrasyonunu benimser ve çeşitli otomatik montaj hatlarında yaygın ...
Vakum Helyum Sızıntı Test Cihazı Kütle Spektrum Gaz Dedektörü 240W
Vacuum He Leak Detektor Helium Kütle Spektrumu Sızıntı Detektörü Helium Sızıntı Detektörü'nün Tanıtımı Helium kütle spektrometre sızıntı dedektörü, sistem entegrasyonu için kolay ve çeşitli otomatik montaj hatlarında yaygın olarak kullanılan modüler yapı tasarımını benimser. Ürün parametreleri SFJ...
Wayeal Helium Leak Tester Helium Kütle Spektrometresi Sızıntı Detektörü Makinesi
Yarım iletken elektronik endüstrisi için Helium Kütle Spektrometre Sızıntı Detektörü Makinesi Helium Sızıntı Detektörü'nün Tanıtımı Helium kütle spektrometri sızıntı dedektörü, mühürlü kaplardaki sızıntıların hızlı lokalizasyonu ve nicel ölçümü için bir enstrümandır.Yüksek algı hassasiyeti ...
- E-posta:export@wayeal.com.cn
- Tel:+8613586823203
- Naber:8613586823203
- Wechat:+8613586823203
