Wafer Sızıntı tespiti için kuru pompa helium sızıntı dedektörü SFJ-231D
Helium Sızıntı Detektörü SFJ-231D'nin Teknik Parametreleri
| Ürün Adı |
Helium sızıntı dedektörü SFJ-231D |
| En az tespit edilebilir sızıntı hızı ((Pa·m3/s) / vakum modu |
5.0*10-13Pa·m3/s |
| En az tespit edilebilir sızıntı hızı ((Pa·m3/s) / koklama modu |
5.0*10-9Pa·m3/s |
| En yüksek izin verilen sızıntı tespit basıncı (Pa) |
1500 |
| Yanıt süresi |
< 1s |
| Başlama saati |
≤2 dakikalık |
| Bulunabilir kalite |
2, 3,4 ((H2,He3, He4) |
| İnsan-makine arayüzü |
7 inç renkli LCD dokunmatik ekran |
| İyon kaynağı |
2 adet, irid ile kaplanmış itrium oksit, otomatik anahtar |
| I/O Giriş/çıkış arayüzü |
8 giriş ve 8 çıkış |
| İletişim arayüzü |
RS232/485, USB*2 |
| MES arayüzü |
Standart |
| Sızıntı tespit portu |
DN25KF |
| Güç kaynağı |
AC220V, 50Hz/60Hz |
| Çalışma sıcaklığı |
0~40°C |
| Dil |
İngilizce |
| Sızıntı oranı göstergesi |
Şekil, çubuk grafiği, eğri grafiği |
| Boyut |
645*678*965mm |
SFJ-231D Helium Sızıntı Detektörü'nün uygulanmasıWafer için.
Helium kütle spektrometri sızıntı tespit teknolojisinde, kuru pompaların (yağı olmayan kuru vakum pompaları) uygulanması esas olarak denetlenen ekipmanın çalışma koşullarına bağlıdır.Temizlik gereksinimleri ve helyum kütle spektrometri sızıntı dedektörlerinin teknik gereksinimleri (e).g. Wayeal SFJ-231D).
Bulma yöntemi: Vakum püskürtme helium yöntemi (yüksek duyarlılık modu)
1Sistem tahliye ve temel kalibrasyon
Temel basınçta boşaltmak: Çizme odası: ≤0.1Pa (kuru pompa + moleküler pompa kombinasyonu); CVD/PVD odası: ≤10−3 Pa (katlama ekipmanlarına daha yüksek gereksinimler).
Sızıntı dedektörü kalibrasyonu: SFJ-231D'yi kalibre etmek ve enstrüman yanıtının doğrusallığını doğrulamak için standart bir sızıntı referansı (örneğin, 1×10−7 Pa·m3/s) kullanın.
Adım 2: Helium püskürtmesi tespiti
Bulma alanı: O-ring olukları, vida delikleri, VCR/VCO metal mühürleri, kaynak eklemleri, seramik yalıtımlar, bakır dikişler, Bellows bağlantıları.
Helium püskürtme işlemi:
Algılama noktasından 3-5 mm uzaklıkta el taşıyan bir helyum püskürtme tabancası (0,1 mm ince ayarlama nozlu) kullanın. 5 cm/s hızla hareket edin, noktaya 2-3 saniye durun (SFJ-231D yanıt süresi <1 saniye).Helium basıncını 0'a ayarlayın..2-0.3MPa, hava akışının bozulmasını önlemek için.
Adım 3: Sızıntı noktasının belirlenmesi ve kaydedilmesi
Sızıntı oranı: Yarım iletken ekipmanlarının izin verilen sızıntı hızı: Tipik olarak ≤1×10−9 Pa·m3/s (SEMI standartlarına göre).
Veri kaydı: SFJ-231D sızıntı oranının zirvesini gösterdiğinde, sızıntı noktasını bir işaret kalemle işaretleyin.
Sızıntı oranı eğreleri ve konum verilerini kaydet (USB üzerinden ihraç).
Adım 4: Tekrar denetim ve doğrulama
Tekrarlanabilirliği doğrulamak için tespit edilen sızıntılara ikinci bir helyum püskürtmesi yapın.
Büyük sızıntıları tamir ettikten sonra, yeniden basınç basınçına geri çekil ve tam bir yeniden denetim yap.
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
