CE Sertifikalı Vacuum Helium Sızıntı Detektör Makinesi Yarım iletken endüstrisi için

SFJ-16M Helium Sızıntı Detektörü

Performans Göstericileri






 

En az tespit edilebilir sızıntı oranı
(Pa·m)³/s) / vakum modu

Vakum Modu (ULTRA):5.0×10^-13 Pa·m³/s(helium pompalama hızı >5 l/s)
Vakum modunda (FINE):1.0×10^-12 Pa·m³/s(helium pompalama hızı 2,5L/s)

En az tespit edilebilir sızıntı oranı
(Pa·m3/s) / koklama modu

5.0×10^-8Pa·m³/s

Yanıt süresi (s)

< 1

Başlatma süresi ((min)

≤ 95s

Sızıntı tespit aralığı
(Pa·m)³/ s)

5.0×10^-13~ 1.0×10^-3Pa·m³/s

Sızıntı oranı görüntüleme aralığı
(Pa·m)³/ s)

1.0×10^-13~ 1.0×10^-3 Pa·m³/s

En yüksek izin verilen sızıntı tespit basıncı ((Pa)

1500

Bulunabilir kalite

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Temel Yapılandırma










 

İnsan-makine arayüzü

5 "renkli LCD dokunmatik ekran

İyon kaynağı

2 adet, irid ile kaplanmış itrium oksit, otomatik anahtar

I/O Giriş/çıkış arayüzü

Sekiz giriş ve sekiz çıkış

İletişim arayüzü

RS232/485,LAN

MES arayüzü

Standart

Aracın fiziksel boyutu
(W) × ((D) × ((H), mm

592 * 498 * 370mm

Sızıntı tespit portunun özellikleri

DN16 KF/2 adet

Güç kaynağı

DC24V

Çalışma sıcaklığı

0-40oC

Güç

240W

Görüntüleme dili

Hem Çince hem de İngilizce

Sızıntı oranı göstergesi

Şekil, çubuk grafiği, eğri grafiği